高周波駆動誘電体バリア放電によるキセノンエキシマランプ特性に関する数値解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: XI-6

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 小田昭紀 (千葉工業大学),明石治朗 (防衛大学校)

キーワード: エキシマランプ| シミュレーション誘電体バリア放電| 誘電体バリア放電

要約(日本語): 誘電体バリア放電励起エキシマランプは、その構造の簡便さや励起方式がエキシマ生成に適しているため、プラスチック材料の表面改質や光エッチングなど光プロセス分野での真空紫外光源として盛んに研究開発がなされている。本報告では、エキシマランプ特性改善の一方策として高周波駆動に着目し、本駆動方式におけるキセノンバリア放電の基礎特性に関し解析を行ったので、その結果を報告する。

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