低気圧放電窒素／酸素プラズマ中の中性分子と分子イオンの回転温度差に関する基礎研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: XI-9

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 赤塚洋 (東京工業大学),川野泰和 (東京工業大学),直井浩一 (東京工業大学),根津篤 (東京工業大学),松浦治明 (東京工業大学)

キーワード: プラズマ計測| 発光分光計測| 回転温度| 分子イオン| 中性分子| 窒素・酸素プラズマ

要約(日本語): 圧力1Torr程度のマイクロ波放電窒素プラズマを発光分光計測し、2PSと1NSの回転温度を比較した所、分子イオン励起状態に由来する1NSからは、ガス温度の近似値とされる2PS回転温度より遥かに大きいことが判明した。一方、酸素プラズマでは、分光計測の解釈によっては、そのような結果を得る事が困難であった。このような実験事実を報告し、窒素プラズマと酸素プラズマの分子イオンの回転温度差の原因を考察したい。

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