NLDプラズマの解析（XVI）‐プラズマ維持機構のモデリング‐

カテゴリ: 部門大会

論文No: XI-11

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 櫻井洋平 (北海道大学),吉田拓平 (北海道大学),菅原広剛 (北海道大学),村山明宏 (北海道大学)

キーワード: モンテカルロ法| 空間電荷電界| 電子ーイオン再結合| イオン拡散

要約(日本語): 低圧駆動可能なNLDプラズマの維持の主要要素である空間電荷電界の効果を解析した。NL周辺に正ポテンシャルが形成され電離が進むが、それだけでは電子数・イオン数が増加しすぎる。数値計算の安定化・平衡状態再現のため電子-イオン再結合とイオン拡散を考慮し影響を調べた。電子数密度の自乗に比例する再結合により電子数発散抑制が、イオン拡散により正ポテンシャルも広がることで電離源たるNLへの電子集中の緩和が期待される。

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