Ar-O2混合ガス表面波プラズマによるポリイミドの表面改質

カテゴリ: 部門大会

論文No: XII-9

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 蛭川能成 (東京都市大学),菅谷洋平 (東京都市大学),鈴木脩一 (東京都市大学),小野茂 (東京都市大学)

キーワード: 表面波プラズマ| 表面改質| ポリイミド| 酸素ラジカル

要約(日本語): 広く産業用に用いられるプラスチック材料の中でも、強固で安定なポリイミドはフレキシブルプリント基板のベース材料として利用される。ポリイミドをフレキシブルプリント基板へ加工する際にはポリイミド表面に十分に、また均一に銅薄膜が接着されるために、表面の親水性が重要となる。本研究では、プラズマ中の酸素ラジカル密度及びプラズマパラメータに注目して、酸素表面波プラズマでポリイミドの表面改質を行った。

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