Ne-Ar混合小口径グロー放電陽光柱の特性II

カテゴリ: 部門大会

論文No: XVI-8

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 佐々木典彦 (仙台高等専門学校),野角光治 (仙台高等専門学校),中村富雄 (仙台高等専門学校),内田裕 (東芝)

キーワード: Ne-Ar混合気体| 直流グロー放電| プラズマパラメータの混合比依存性

要約(日本語): 小口径（5mmΦ）放電管内でNe-Ar混合系の直流グロー放電を発生させ、圧力、混合比を変えながらプラズマパラメータを測定した結果を前回報告した。今回はさらに混合比を変化させ、電子温度や密度に加え、ガス温度の測定結果も含めて述べる。測定圧力範囲は0.2～30Torr、Ar混合比は、0,0.02,0.1,0.3,1,3,10,30,100％、放電電流は10mA一定とした。

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