高E/n放電中でのバイアス電圧印加による陰極付近のイオンエネルギー分布測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: XVI-9

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 平沼史弥 (東京都市大学),岩尾徹 (東京都市大学),湯本雅恵 (東京都市大学)

キーワード: 高E/n放電| イオンエネルギー分布

要約(日本語): PTFE（Poly-Tetra-Fluoro-Ethylene）は接着力が弱い欠点を持っている。そこで， 窒素中での高E/n(E：電界n：粒子密度)放電処理を用いると接着力向上が明らかになっている。また，その表面エネルギーはイオンエネルギーに依存して変化することがわかっている。そこで，本研究では高E/n放電空間中での陰極付近のイオンエネルギー分布を実験的に算出した。その結果，最大エネルギーは170 eV程度であり，それはバイアス電圧に依存することが確認された。

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