NLDプラズマの解析(XIV)?２極／４極反平行傾斜磁界・RF電界下の電子挙動?

カテゴリ: 部門大会

論文No: XVII-9

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 山本寛容 (北海道大学),菅原広剛 (北海道大学),村山明宏 (北海道大学)

キーワード: NLDプラズマ| モンテカルロシミュレーション| 磁界| 電子運動| 電子空間分布| RF電界

要約(日本語): ２組の２極反平行傾斜磁界（４極磁界）・ＲＦ電界で駆動するＮＬＤプラズマ中の電子挙動をモンテカルロ法で解析し、２極磁界と４極磁界の解析結果を比較した。２極磁界下の強磁界領域で観測される螺旋運動には、フーリエ変換により電界周波数と螺旋中心の磁界強度で決まる周波数の２成分が見出された。磁界傾斜方向の電子空間分布ピーク位置が磁界傾斜の平方根に反比例する特性（２極磁界下では既知）が４極磁界下でも見られた。

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