反応性スパッタリング法により作製したTiO2薄膜のN添加効果

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-29

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 荒原茂幸 (工学院大学),佐藤光史 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: 反応性スパッタリング| TiO2| N| 光機能

要約(日本語): TiO2の持つ光触媒効果では、問題視されている窒素酸化物などの環境汚染物質を分解できる。しかし、光触媒効果は主として紫外光で発現するため太陽光の多くを占める可視光での活性が低いことが課題である。本研究では、反応性スパッタリング法により、Nを添加することでTiO2薄膜のバンドギャップの構造を変化させ、可視光領域で得られる光機能特性の向上を図った。

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