高速パルス印加第三電極を用いた円筒型MCS放電の放電特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-35

グループ名: 【A】平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/21

著者名: 竹中允一 (埼玉大学),前山光明 (埼玉大学),久保田淳 (埼玉大学),今陽 (埼玉大学)

キーワード: 大気圧プラズマ| MHCD| MCS| パルスパワー

要約(日本語): 本研究では複数のMHCD電極と第三電極に高繰り返しインパルス電圧を印加し、MCS放電を得ることを目的とした。従来は直流高電圧を第三電極に印加する方法が利用されていたが、印加できる電圧範囲がガス圧の増加とともに狭くなる点を改善できる、直流電圧印加分のエネルギーを低くできる等の可能性がある。ガス処理への応用やプラズマ容積の拡大を考慮し、安定した大気圧グロー放電を得られるかどうかの検討を行った。

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