Ti箔へのO2プラズマ照射によるTiO2の生成

カテゴリ: 部門大会

論文No: IV-3

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 小田竜一 (日本大学),新妻清純 (日本大学)

キーワード: Ti箔| O₂プラズマ| TiO₂

要約(日本語): 薄膜もしくは、粉末でポピュラーなTiO2を箔帯で作製することで、さらに様々な用途で用いることが考えられることから、Ti箔にO2プラズマ照射を行いTiO2の結晶構造であるAnatase型を生成及びTiO2作製の最適条件を検討し、結晶構造等の観点から比較検討を行う。

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