赤外光支援ＰＬＤ法によるp型酸化亜鉛の成膜

カテゴリ: 部門大会

論文No: IV-4

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 平出利博 (日本大学),胡桃聡 (日本大学),鈴木薫 (日本大学)

キーワード: 酸化亜鉛（ZnO）| パルスレーザ堆積法| 赤外光支援

要約(日本語): 酸化亜鉛（ZnO）はバンドギャップエネルギー3.37[eV]、励起子束縛エネルギー60[meV]であり、窒化ガリウム（GaN）系に代わる新たな青色発光ダイオードの材料として注目されている。今回、ZnOを赤外光支援パルスレーザ堆積法により薄膜化を行う。薄膜の酸素欠損の抑制およびアクセプタードープのため、成膜時に赤外光支援および窒素プラズマ支援を行い、ZnOのp型化を図る。

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