赤外光支援パルスレーザ堆積法によるDLC/SiC/Si太陽電池の成膜

カテゴリ: 部門大会

論文No: IV-5

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 米川栄 (日本大学),胡桃聡 (日本大学),鈴木薫 (日本大学)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン| パルスレーザ堆積法| 太陽電池| SiC| 赤外光支援

要約(日本語): 　我々はDiamond Like Carbon (DLC) に不純物をドープすることで太陽電池の製作に成功している。赤外光支援Pulsed laser deposition (PLD) 法によりp-Si基板とn-DLCのドープ層間にi-SiC層が挿入され，pin構造になる。この現象説明するため，赤外光支援した時のアブレーションの影響について発表する。

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