真空中におけるアルミナの帯電パラメータの検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: X-3

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 成瀬浩樹 (京都大学),斉藤仁 (明電舎),榊正幸 (明電舎),山本修 (応用科学研究所)

キーワード: 真空| 帯電| アルミナ| 帯電パラメータ| 表面粗さ| シミュレーション

要約(日本語): 真空中において絶縁物の帯電分布をシミュレーションするには、入射電子のエネルギーと二次電子のエネルギーとの比から成る定数が必要になる。この定数は材料および表面状態によって異なる。ここでは長さ5?50 mm、表面粗さ0.1?6 μmのアルミナ製円柱について帯電時の陰極電界を測定することにより、上記の定数を同定した。

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