陽極形状が異なる場合の金属平板両面真空アーククリーニング時の陰極点挙動の違い

カテゴリ: 部門大会

論文No: XI-3

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 嵯峨俊一 (秋田県立大学),杉本尚哉 (秋田県立大学)

キーワード: 真空アーク| 陰極点| 酸化膜除去

要約(日本語): 全面を酸化膜で覆われた金属平板を陰極として真空アークを発生させ、平板全体の酸化膜除去を様々な形状の陽極で試みた。陽極が陰極片側のみに面している形状の場合，陰極点は陽極側の面上の酸化膜を除去した後裏側に移動し、裏側の酸化膜も除去した。陰極両面に対する形状の陽極では、放電開始用に亜鉛棒を設置した面から陰極点が発生し、その面の酸化膜を除去した後反対側に移動し、酸化膜除去が進行した。

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