単パルスの電子ビーム照射によるアルミナセラミックスからのガス脱離特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: XIII-1

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 近藤淳一 (埼玉大学),山納康 (埼玉大学),小林信一 (埼玉大学),齊藤芳男 (高エネルギー加速器研究機構)

キーワード: 真空| 真空中放電| 脱離ガス| 電子刺激脱離

要約(日本語): 真空中における沿面放電開始の要因の一つとしてトリプルジャンクションから放出した電子の衝突による絶縁体からの吸着・吸蔵ガスの脱離が考えられている。これまで絶縁体からの電子衝撃脱離ガスの測定では、絶縁体が帯電することが測定結果に影響していた。そこで本研究では電子ビームを単パルス照射することにより帯電の影響を抑え、アルミナセラミックスの初期表面状態からの脱離ガス量の変化について測定したので報告を行う。

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