放出型電子顕微鏡による表面処理を施した無酸素銅電極の電子放出箇所の微視的観察

カテゴリ: 部門大会

論文No: XIII-11

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 小野幹男 (埼玉大学),金井友洋 (埼玉大学),山納康 (埼玉大学),小林信一 (埼玉大学),齊藤芳男 (高エネルギー加速器研究機構)

キーワード: 電界電子放出| 真空放電| 無酸素銅| 表面処理

要約(日本語): 真空中絶縁破壊現象の原因の一つである電界電子放出は陰極の表面の異物からであることが確認されている。しかし、これまでの研究では表面処理を施した電極における電子放出の観測を行った事例は無かった。そこで本研究では無酸素銅電極に化学研磨処理およびクロメート処理を施し、放出型電子顕微鏡を用いることで電子放出箇所を観測したのでこれを報告する。

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