NLDプラズマの解析（XXII）－４極磁界・交流電界下の電子伝導－

カテゴリ: 部門大会

論文No: XIV-4

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 菅原広剛 (北海道大学)

キーワード: NLDプラズマ| ドリフト速度磁界| 磁界| モンテカルロシミュレーション

要約(日本語): 材料プロセス用低圧高密度誘導結合型プラズマの一種、磁気中性環状放電プラズマに印加する４極磁界下の電子伝導をモンテカルロ法で解析した。高周波電界下、電流路周辺の電子は磁界４領域の境界（分界線）に腕が伸びた４芒星型に分布し、その幅は磁界強度勾配の平方根に反比例した。４領域の電子流には磁界の整流性から互い違いの指向性が現れた。平均電子速度の振幅で評価した電流路幅は、電界周波数上昇と共に広がった。

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