小口径希ガス-分子ガス混合グロー放電の特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: XIV-5

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 佐々木典彦 (仙台高等専門学校),野角光治 (仙台高等専門学校),吉村亮毅 (仙台高等専門学校),内田裕 (NEDO)

キーワード: 小口径放電| Ne-N2混合| プラズマパラメータ

要約(日本語): 我々は、これまで小口径放電管（内径5mm）内に希ガス単体、あるいはNe-Ar混合のような希ガス同士の組み合わせの混合ガスグロー放電を生成し、その特性を調べてきた。今回は、混合ガスを希ガス－分子ガス（Ne-N2）混合に変え、圧力0.2?30Torr、電流10mA一定のもとで、混合比を変化させつつプラズマパラメータや軸方向電界、中性ガス温度の測定を行い、希ガス同士の場合と比較しながら分子ガスの影響を調べている。

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