薄膜絶縁フィルムの自己回復性破壊における金属蒸着膜の抵抗変化の推定

カテゴリ: 部門大会

論文No: XVI-5

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 石井佑一 (豊橋技術科学大学),栗本宗明 (豊橋技術科学大学),村上義信 (豊橋技術科学大学),長尾雅行 (豊橋技術科学大学)

キーワード: 自己回復性破壊| 薄膜フィルム| 絶縁破壊

要約(日本語): 薄膜フィルムの絶縁破壊では、自己回復作用のために非短絡性破壊が起こる場合がある。自己回復性破壊を効果的に利用するためには、薄膜フィルムにおける絶縁破壊から蒸着膜蒸散に至る一連の自己回復機構を調査する必要がある。本論文では、高分子フィルムの自己回復性破壊機構を調査するための実験回路の検討を行い、回路シミュレーションソフトを用いて解析することで、自己回復性破壊時の薄膜フィルムの抵抗変化を推定した。

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