大気圧線状パルスプラズマを用いた大面積アモルファスカーボン成膜実験(II)

カテゴリ: 部門大会

論文No: XVII-2

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 福井経太 (兵庫県立大学),菊池祐介 (兵庫県立大学),松尾吉晃 (兵庫県立大学),堀口恭光 (栗田製作所),西村芳実 (栗田製作所),永田正義 (兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)

キーワード: 大気圧プラズマ| アモルファスカーボン膜| 成膜

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC）は高硬度、高絶縁性などの優れた性質を有しており、DLC膜は表面処理として強いニーズがある。本研究では大面積かつ高速成膜を目指して、準大気圧および大気圧下での放電プラズマを用いたDLC成膜技術の確立を目標としている。平行平板電極においてバリア放電プラズマを生成し、バイアス電極にてプラズマを生成・引き出すことにより基板上にアモルファスカーボン膜を成膜する。講演ではプラズマ特性評価ならびに成膜結果について報告する。

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