NLDプラズマの解析（XXI）－エッチャントラジカル生成分布の気圧依存性－

カテゴリ: 部門大会

論文No: XVII-5

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 浅見勇介 (北海道大学),吉田拓平 (北海道大学),菅原広剛 (北海道大学),村山明宏 (北海道大学)

キーワード: NLDプラズマ| モンテカルロシミュレーション| エッチング| 磁界| ラジカル

要約(日本語): 磁気的中性ループ放電（NLD）プラズマは３本の直流コイルの磁界を重畳して作る磁界零の環に沿って生成されるプラズマである。本研究ではモンテカルロ法によりNLDプラズマを解析し、気圧に依存した電子空間分布の特徴変化を調べることでエッチャントラジカル生成増の可能性を検討してきた。換算電界一定の条件で気圧を上げたとき、ラジカル生成量は増加し、生成位置はRFアンテナ付近の強電界領域に近づく傾向が見られた。

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