永久磁石利用発散プラズマ源の大口径化とモデリング

カテゴリ: 部門大会

論文No: XVII-7

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 鈴木達也 (岩手大学),高橋和貴 (岩手大学),藤原民也 (岩手大学)

キーワード: 高周波プラズマ| 電子圧力| プラズマ計測

要約(日本語): プラズマ源内部の電離と損失のバランスおよびパワーバランス解析を行うと，プラズマ源の大口径化により電子圧力に起因する推力が増大することが予測される．そこで内径の異なる2つのプラズマ源を用いて動作ガス圧や投入電力を変化させて，プラズマ源内部の電子圧力の計測を行ったところ，計測値とバランス解析から導き出した値はよい一致を示し，プラズマ源の大口径化に伴う推力の増大が見込めることが実験的にも明らかになった．

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