大気圧ヘリウムマイクロプラズマを用いた超高感度検出器の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: C-3

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 藤田修 (ジェイ・サイエンス・ラボ),松田真由美 (ジェイ・サイエンス・ラボ),豊浦行雄 (ジェイ・サイエンス・ラボ)

キーワード: 大気圧プラズマ| ヘリウム

要約(日本語): 現在、開発しているヘリウムプラズマイオン化検出器は全元素中最大の励起エネルギーを有するヘリウムプラズマ（19.8eV）をイオン化源に用いた超高感度検出器であり、ガスクロマトグラフに搭載することで数ppbレベルの無機ガス、炭化水素等の微量検出が可能である。講演では、性能特性と実用例の報告を行う。

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