液体電極プラズマ原子発光分析法によるカドミウムと鉛の高感度元素分析

カテゴリ: 部門大会

論文No: C-5

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 北野厚志 (北陸先端科学技術大学院大学),山本保 (マイクロエミッション),浮田芳昭 (北陸先端科学技術大学院大学),高村禅 (北陸先端科学技術大学院大学)

キーワード: 液体電極プラズマ| 微細加工技術| 原子発光分析法| 石英ガラス| 元素分析| ドライエッチング

要約(日本語): 石英ガラスチップと試料フローを組み合わせた高感度な液体電極プラズマ原子発光分光分析(LEP-AES)の開発について報告する。LEPはマイクロ規模の流路内で生成することができ、試料溶液中の元素分析に応用が可能である。結果として石英ガラスチップと試料フローを用いると測定元素の検出限界（LOD）は、従来のものと比較すると大幅な向上を見せた。具体的にLODはCd：0.5 ppb、Pb：19.0 ppbと計算できた。特にCdに関してサブppbレベルのLODが達成された。

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