FETインバータ型高周波電源を用いた高密度プラズマ生成

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-1

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 及川幸平 (東北大学),船生拓矢 (東北大学),斎藤雄太 (東北大学),田中のぞみ (東北大学),安藤晃 (東北大学)

キーワード: 高周波プラズマ| 高密度プラズマ| FETインバータ電源| イオン源

要約(日本語): 高周波生成プラズマは様々な分野に応用されている。本研究では高周波電源としてFETインバータ電源を用い、その高いDC－AC変換効率を利用し、0.3ＭＨｚ前後での高周波によるプラズマ生成を行っている。プラズマ生成部に外部磁場を重畳することで高密度化を図り、Ar、Heに加えHガスでも1019m-3以上の高密度プラズマが生成可能である。各ガス種のプラズマ基礎パラメータや外部磁場重畳効果についての実験結果を報告する。

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