ヘリコンスパッタ法によるTiO2薄膜の磁場印加における光機能特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-10

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 豊田亜貴子 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: ヘリコンスパッタ法| TiO₂| 光触媒| 磁場印加

要約(日本語): 酸化チタン(TiO2)の持つ特性の中でも、光触媒効果は防汚、抗菌等の作用があり近年注目されている。本研究ではTiO2薄膜の光機能特性の改善を目的として、ヘリコンスパッタ法を用い成膜したTiO2薄膜に磁場を印加しその効果について検討した。活性時の磁場印加により電子と正孔の分離を促進すると考える。結果としては磁場印加による変化が現れ、光触媒に対して何らかの影響を与えていることがわかった。今後その効果を得るため更に調査を行う。

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