積層型TiO2/Cu2O薄膜の光機能特性及びCu拡散防止効果

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-14

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 中嶋拓未 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: 反応性スパッタリング| 光触媒| TiO₂| Cu₂O

要約(日本語): 　近年、様々な光機能特性を持ったTiO2が注目されている。しかしTiO2の反応領域は紫外線であり、その領域は狭い。本研究では、反応性スパッタリング法により積層型TiO2/Cu2O薄膜を作製し、TiO2の反応領域を広げ、光機能特性の一つである光触媒効果の向上を目指す。　実験結果は、Cu2O:200nm,TiO2:300nmのとき、光触媒効果が約31%で最も良くなった。次に、Cu拡散防止膜としてTiNを挿入した場合、拡散は防げたが光触媒効果は向上しなかった。

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