イオンビームアシスト法により作製されたN添加DLC薄膜の機能性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: P-15

グループ名: 【A】平成24年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2012/09/20

著者名: 西勇人 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: イオンビームアシスト法| 機械的特性| DLC薄膜

要約(日本語): これまでの研究より、N2+イオンを用いイオンビームアシスト法で作製したDLC薄膜は大気中では優れた低摩擦係数を示すことがわかっているが、真空中での摩擦係数についての調査はされていなかった。本研究ではイオンビームアシスト法を用いて、加速電圧5kVを一定とし、N2+イオン照射電流密度を変化させることにより真空中の摩擦係数の低下を目的とした。また、電気的特性についても調査した。

PDFファイルサイズ: 2,258 Kバイト