高周波化バリア放電による高密度小径オゾナイザの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-B-a1-1

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 辻野純司 (防衛大学校),北嶋武 (防衛大学校),中野俊樹 (防衛大学校)

キーワード: オゾナイザ| バリア放電| 高周波放電

要約(日本語): 大気圧プラズマの応用として、プラズマにより生成したオゾンなどのラジカル種をチューブを介して局所へ照射する用途が汎用的になりつつある。こうした用途には、プラズマ生成部分がコンパクトかつ高密度のラジカルを生成できるプラズマ源が必要とされる。今回我々は1/4インチチューブ内で生成するバリア放電を高周波化により高密度化し、10000 ppmを超える濃度のオゾンを供給できる小径オゾナイザを開発した。

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