高融点金属における繊維状ナノ構造形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-B-a1-2

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 高村秀一 (愛知工業大学),友田壮 (愛知工業大学)

キーワード: 高融点金属| ヘリウム損傷| ナノ構造| モリブデン| タングステン| タンタル

要約(日本語): 高融点金属である、タングステン、モリブデン、タンタルにおいてヘリウムプラズマ照射の効果を繊維状ナノ構造形成を中心に紹介する。モリブデンについてはナノ構造が形成される温度範囲について詳述する予定。

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