大気圧プラズマを用いたDLC成膜実験におけるバイアス電圧の効果

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-B-a1-3

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 田中啓右 (兵庫県立大学),菊池祐介 (兵庫県立大学),松尾吉晃 (兵庫県立大学),大坪陽 (栗田製作所),西村芳実 (栗田製作所),永田正義 (兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)

キーワード: 大気圧プラズマ| ダイヤモンドライクカーボン| 成膜

要約(日本語): 本研究は大気圧プラズマを用いたダイヤモンドライクカーボン（DLC）成膜実験装置の開発を目的としている。プラズマトーチにより種プラズマを形成し、トーチ出口近傍に設置した基板にバイアス電圧を印加することで、基板上部に高密度プラズマを生成する。基板に負のバイアス電圧が印加されるときにカーボン膜が形成されることを見出した。また、ラマン計測によりアモルファスカーボン膜が成膜されていることを確認した。

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