容量結合型大気圧ヘリウムプラズマ基礎特性へ及ぼす不純窒素ガス濃度の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-B-a2-1

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 坂下准哉 (千葉工業大学),小田昭紀 (千葉工業大学)

キーワード: 大気圧プラズマ| 不純ガス| シミュレーション| ヘリウム| 窒素

要約(日本語): 大気圧環境下で生成された熱的非平衡プラズマは、反応活性種が多く生成されるため材料プロセス分野や医療・バイオ分野への応用が期待される。その際、安定な放電を得るためヘリウムガスが多く利用されるが、そこに様々な濃度レベルの不純ガスが含まれる。本報告では、この不純ガスの影響を解析するため流体モデルに基づくシミュレーションを行い、不純ガス（窒素）濃度が大気圧ヘリウムプラズマ基礎特性へ及ぼす影響を解析した。

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