マイクロプラズマ励起高出力大面積深紫外発光素子(MIPE)の開発と応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-B-a2-3

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 黒瀬範子 (立命館大学),青柳克信 (立命館大学)

キーワード: 深紫外発光| MIPE| マイクロプラズマ| AlGaN多重量子井戸| 未踏波長領域

要約(日本語): 従来の深紫外LEDとは全く異なった原理に基づく、窒化アルミニウムガリウム化合物（AlGaN）多重量子井戸を用いたダイナミックマイクロプラズマ励起、水銀フリー深紫外発光素子（MIPE)を開発した。典型的な出力特性は波長306nm・50ｍWで、２インチφの大面積発光にも成功した。AlGaN多重量子井戸の構造を変えることにより210～400nmの任意波長発光が可能で、特に210～240nm領域では難分解物質の分解等の新学問領域や新産業領域を開拓できる可能性がある。

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