HiPIMSカーボングロー放電の磁場制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-E-p-3

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 小西匠 (岩手大学),三河遼大 (岩手大学),高木浩一 (岩手大学),行村建 (岩手大学)

キーワード: DLC| HiPIMS| マグネトロンスパッタ

要約(日本語): 本研究ではターゲット空間上に形成される磁場強度が及ぼす影響について、電気的特性と分光計測を用いて調査した。磁場強度の増加と共にターゲット電流は増加し、アーク放電への移行が早期化した。また、分光計測より磁場強度の増加と共にCⅡの発光強度の減少を観測した。

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