Beating field方式高周波磁気力顕微鏡探針励磁用コイルの試作とその高周波特性に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-A-p-3

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 荒井薫 (東北大学),遠藤恭 (東北大学),島田寛 (東北大学),柳邦雄 (東北大学),室賀翔 (東北大学),山口正洋 (東北大学)

キーワード: MFM探針| Beating field方式| 高周波磁気力顕微鏡| コプレーナ伝送線路| 半ターンコイル

要約(日本語): 筆者らはMFM探針を検出センサとしたBeating field方式高周波磁気力顕微鏡を提案し、本方式では、コプレーナ伝送線路へ搬送波信号を、また探針の直上に設置したコイルへ探針の機械的共振周波数分だけずれた参照信号を入力し、両者の磁界によるうなりを探針が検出する。本発表では、探針直上に設置するコイルを設計・試作し、伝送線路から生じる磁界との間にBeating fieldを発生させて、MFM探針で観測することができたのでその結果について報告する。

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