Beating Field方式高周波磁気力顕微鏡による高周波伝送線路の近傍磁界評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-A-p-4

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 遠藤恭 (東北大学),荒井薫 (東北大学),柳邦雄 (東北大学),島田寛 (東北大学),山口正洋 (東北大学)

キーワード: beating field方式| 高周波磁気力顕微鏡| 磁気力顕微鏡用探針| 高周波伝送線路| 近傍磁界計測

要約(日本語): 我々はRFICチップの信号配線を流れる電流を直接評価できる，MFM探針を検出センサとして用いたBeating field方式高周波磁気力顕微鏡（BF-HF-MFM）を提案した。本発表では、信号配線を模擬したコプレーナ伝送線路から生じる磁界と，探針直上に設置する試作コイルとの間でBeating fieldを発生させて、伝送線路上の近傍磁界をMFM探針により評価した結果について報告する。

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