水溶液プロセスにより作製した透明導電性酸化亜鉛膜に対する窒素雰囲気熱処理の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-F-a2-5

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 洪正洙 (東京工業大学),我田元 (信州大学),大橋直樹 (物質材料研究機構),勝又健一 (東京工業大学),岡田清 (東京工業大学),松下伸広 (東京工業大学)

要約(日本語): 水溶液プロセスであるスピンスプレー法は反応溶液と原料溶液を回転する台上で加熱された基板に吹き付けるだけの非常に簡単なプロセスであり、フェライト膜や酸化亜鉛膜を含めた機能性酸化物膜の作製ができる。本研究ではスピンスプレー法で作製した酸化亜鉛膜を窒素雰囲気で熱処理して、これによる透過率と抵抗率の変化について調べた。作製した酸化亜鉛膜膜は 80 ％以上の高い透過率を有し、抵抗率は~10-2 Ω?cmと高い導電性を示すことを確認した。

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