バイアス印加時のn型窒化ガリウム中におけるプラズマ照射誘起欠陥の光照射変化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-F-p-3

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 横山大樹 (首都大学東京),中村成志 (首都大学東京),奥村次徳 (首都大学東京)

キーワード: 窒化ガリウム| プラズマ| 欠陥

要約(日本語): 我々は、窒化ガリウムにプラズマ照射することにより、プラズマ照射誘起欠陥が引き起こされることを明らかにしてきた。そしてこれまでに、バイアス印加時と同時に加熱、またはEg以上のエネルギーを持つ光を照射することにより、プラズマ照射誘起欠陥の分布が変化することを発見した。本発表ではバイアス印加時と同時にEg以下のエネルギーを持つ光を照射することにより、プラズマ照射誘起欠陥の分布が変化することを明らかにした。

PDFファイルサイズ: 232 Kバイト