多チャンネル構造光導波路型表面プラズモン共鳴センサを用いた水蒸気・アンモニア同時検出

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-P-27

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 本多浩気 (新潟大学),加藤景三 (新潟大学),金子双男 (新潟大学),新保一成 (新潟大学),馬場暁 (新潟大学)

キーワード: 表面プラズモン| ガスセンシング| 有機半導体工学| 薄膜電子デバイス

要約(日本語): 表面プラズモン共鳴（SPR）法は高感度な薄膜評価技術として知られており、ガス・バイオセンシングに多く用いられている技術である。特にSPR光導波路センサは、小型で取り扱いが簡便であることから今後広い利用が期待される。我々は一つの導波路上に複数のセンサチャネルを設けたSPR導波路センサを構築しており、本発表ではこれを用いて水蒸気・アンモニアの同時検出を試みた結果を述べる。

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