反応性スパッタリング法によるTiO2/Ag2O薄膜の光機能特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-P-29

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 中嶋拓未 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: 反応性スパッタリング| 光触媒| TiO2| Ag2O

要約(日本語): 近年、様々な光機能特性を持ったTiO2が注目されている。しかしTiO2の反応領域は紫外線であり、その反応領域の狭さが課題となっている。また、前研究で製作したTiO2/Cu2O薄膜ではCuが拡散する課題があった。本研究では、反応性スパッタリング法により積層型TiO2/Ag2O薄膜を作製し、TiO2の反応領域を広げ、光機能特性の一つである光触媒効果の向上を検討した。

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