スズを含むリン酸ガラス系透明導電膜の作製と特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-P-30

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 熊崎悠介 (中部大学),田橋正浩 (中部大学),後藤英雄 (中部大学)

キーワード: 透明導電膜

要約(日本語): 透明導電膜にはITOが主に使用されている。しかしITOにはInが使用されているため枯渇することが懸念されている。そのため本研究では代替材料としてリン酸化合物を用いたリン酸塩ガラスが導電性を示し、かつ透明で多様な光学特性を示すことから、新たな透明導電膜として注目した。またSnを加えることにより耐水性の向上が期待されるためこれを添加し、得られた膜の表面および断面の観察、抵抗率などの電気特性を調べた。

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