CHF3の電子衝突断面積の推定

カテゴリ: 部門大会

論文No: 12-P-34

グループ名: 【A】平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2013/09/12

著者名: 川口悟 (室蘭工業大学),佐藤孝紀 (室蘭工業大学),伊藤秀範 (室蘭工業大学)

キーワード: CHF3| 電子衝突断面積| 電子スオーム法| モンテカルロシミュレーション

要約(日本語): これまでに報告されたCHF3ガスの電子衝突断面積セットをMonte Carlo simulation(MCS)によって評価するとともに，電子スオーム法によってCHF3ガスの電子衝突断面積セットを推定した。得られた断面積セットを用いてMCSによって算出した電離係数，実効電離係数，平均到着時間ドリフト速度および縦方向拡散係数の値は，広範囲の換算電界E/Nで実測値と非常に良く一致した。

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