狭ギャップ電極系による大気圧非平衡プラズマの生成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21-D-a1-6

グループ名: 【A】平成26年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2014/08/21

著者名: 中野俊樹 (防衛大学校),北嶋武 (防衛大学校)

キーワード: 狭ギャップ電極| 大気圧プラズマ| 非平衡プラズマ| 短パルス電圧

要約(日本語): 狭ギャップ電極系（ギャップ長100μm以下）に方形波短パルス電圧を印加して大気圧非平衡プラズマの生成を試みた。その結果、パルス幅250 ns、パルス電圧1-2 kV、パルス繰り返し周波数10 kHzでギャップ間に均一にプラズマが生成されることを目視で確認した。プラズマのガス温度を窒素分子の回転温度から評価した結果、800 K程度となり、大気圧非平衡プラズマが生成されていることがわかった。

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