準大気圧プラズマを用いたDLC成膜技術に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21-D-a2-1

グループ名: 【A】平成26年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2014/08/21

著者名: 田中啓右 (兵庫県立大学),菊池祐介 (兵庫県立大学),松尾吉晃 (兵庫県立大学),大坪陽 (栗田製作所),西村芳実 (栗田製作所),永田正義 (兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)

キーワード: 準大気圧プラズマ| ダイヤモンドライクカーボン| 成膜

要約(日本語): DLCは高硬質，低摩擦性，ガスバリア 性など優れた性質を有し，主に機械部品の表面加工技術として応用展開されている。しかし，DLCは電気的には高絶縁性膜であり， 電気接点や帯電防止品などには適さない。DLCの優れた特性に導電性を付与する ことができれば，様々な応用分野が期待できる。本研究では，平行平板電極を用いて準大気圧下でプラズマを生成し，さらに成膜時の基板温度制御を行なうことでDLCの導電性付与を目的としている。

PDFファイルサイズ: 271 Kバイト