極細線の大気圧プラズマアニーリングに向けた長尺プラズマジェットの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21-D-a2-4

グループ名: 【A】平成26年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2014/08/21

著者名: 小川裕之 (長岡技術科学大学),佐藤克哉 (長岡技術科学大学),高橋一匡 (長岡技術科学大学),佐々木徹 (長岡技術科学大学),菊池崇志 (長岡技術科学大学),原田信弘 (長岡技術科学大学)

キーワード: 大気圧プラズマ| プラズマジェット| アニーリング

要約(日本語): 大気圧プラズマを金属細線へ照射することで、アニーリング・洗浄効果を同時に得ることができ、細線製造装置の簡素化及びメンテナンス性の向上が期待されている。大気圧プラズマを細線よりも径の細い極細線に直接照射すると断線する問題が生じている。そこで、照射対象への影響が少ない長尺プラズマジェットリアクタを開発し、特性を評価した。その結果、プラズマジェットの生成に作動ガスの流量が大きく影響することが確認できた。

PDFファイルサイズ: 432 Kバイト