アモルファス炭素膜のプラズマ処理

カテゴリ: 部門大会

論文No: 22-E-p-2

グループ名: 【A】平成26年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2014/08/21

著者名: 篠原正典 (長崎大学),谷口雄二郎 (長崎大学),丸野尚紀 (長崎大学),松田良信 (長崎大学),藤山寛 (長崎大学)

キーワード: アモルファス炭素膜| プラズマ| 反応過程| 接触角| 水

要約(日本語): アモルファス炭素膜は様々な特性を持たせることができ，様々な分野に応用されている。この膜の表面処理により，さらに応用が広がる。これまで様々な表面処理が試され，実用化されてきた。これまで酸素プラズマ処理により表面にOH基が形成され親水性が高まることが知られている。分子中にOH基を持つ水をプラズマ化し，アモルファス炭素膜に曝露し，その反応過程を調べると共に，親水化について接触角の変化を調べた。

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