Heプラズマ照射によるタンタルの表面構造変化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21-F-pP-6

グループ名: 【A】平成26年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2014/08/21

著者名: 石田智哉 (名古屋大学),梶田信 (名古屋大学),大野哲靖 (名古屋大学),吉田朋子 (名古屋大学)

キーワード: プラズマ| 表面変化| ナノ構造

要約(日本語): タングステンにHeプラズマを照射することで形成される繊維状ナノ構造は表面積や吸収率の増加、光の吸収波長の変化が確認され光触媒としての応用が期待される。そこで本研究では可視光応答光触媒として期待されるタンタルにHeプラズマを照射し表面変化を観察することでタンタルにおける表面変化およびナノ構造の形成条件の調査を目的とした。本研究の照射条件では、表面にHeバブル･ホールを確認、その形成条件を確認した。

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