ガス透過性カーボンナノチューブ電極を有する高性能ポリイミド静電容量型湿度センサの印刷形成と高性能化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 21-F-pP-12

グループ名: 【A】平成26年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2014/08/21

著者名: 高田明典 (信州大学),伊東栄次 (信州大学)

キーワード: ポリイミド| 転写印刷| 静電容量型湿度センサ| カーボンナノチューブ| 複合体

要約(日本語): ポリイミドを用いた静電容量型湿度センサの用途が広がる中で、本研究ではより高速で広範囲の温度・湿度で安定動作し、なおかつ印刷形成可能な静電容量型湿度センサを新たに開発した。感応膜にフッ素化ポリイミド、上部電極にガス透過性のカーボンナノチューブ電極を用いることで1分近い応答を1秒以下にまで高速化しなおかつ湿度応答にも優れたセンサとなることを明らかとした。

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