イオン衝撃二次電子銃の滅菌応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 22-A-a2-5

グループ名: 【A】平成26年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2014/08/21

著者名: 佐藤駿 (東京工業大学),村田洸一 (東京工業大学),渡邊正人 (東京工業大学),堀田栄喜 (東京工業大学)

キーワード: 電子ビーム| イオンビーム| 二次電子放出| パルス放電| 滅菌

要約(日本語): 電子ビームは物質に対する透過性および反応性をもつことから，幅広い分野に応用されている。二次電子銃は広範囲の電子ビーム照射が可能であること，従来の電子加速器と比べて比較的小型であること，パルス動作による繰り返し照射が可能であることなどのメリットがある。今回は二次電子銃を用いた滅菌実験を行った。

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