小型リアクターモデルを用いた対向発散磁界下誘導結合型水素プラズマの解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 18-D-a2-5

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 菅原広剛 (北海道大学)

キーワード: 誘導結合型プラズマ| 電子運動| 対向発散磁界| 分界面| 磁気フィルタ| 水素

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